NanoXSpot: Röntgenputkien fokuspisteen koon mittaus


2019–2022   Komponenttitarkastuksen mahdollistaminen nanometrialueella

Uusien röntgenjärjestelmien, jotka pystyvät määrittämään komponenttien mitat nanometrialueella, mittauskyky riippuu fokuspisteen koosta ja muodosta. Alle 5 µm pistekoon mittauksille ei kuitenkaan ole olemassa standardimenetelmää.

Projekti kehittää uusia vakiokäytäntöjä röntgenputkien fokuspisteiden koon ja muodon tarkkaan karakterisointiin nanometrialueelle (> 100 nm).

Projektin toimenpiteet:
TP1: Mittausperiaatteiden kehittäminen fokuspisteen koon määrittämiseksi
TP2: Dimensiometrologiaa kalibrointirakenteille
TP3: Simulaatioita ja numeerisia algoritmeja fokuspisteen koon, muodon ja paikan laskemiseen
TP4: Kehitettyjen mittausmenetelmien validointi

MIKES kehittää metodologiaa ja strategioita erilaisten röntgenputkien fokuspisteiden koon ja muodon määrittämisessä käytettävien kalibrointirakenteiden jäljitettävään mittaamiseen sekä suorittaa näiden rakenteiden SEM-mittauksia valittujen menetelmien validoimiseksi.

Lisätietoja: Virpi Korpelainen, puh. 050 410 5504, virpi.korpelainen(at)vtt.fi