MetAMC II: Metrologiaa ilmassa esiintyville epäpuhtausmolekyyleille


2018–2021 ​ Laadun parantaminen ja häviöiden vähentäminen puhdastilavalmistuksessa                 MetAMC2.png

Kaasumaiset epäpuhtausmolekyylit aiheuttavat huomattavia tuotantomenetyksiä puolijohdeteollisuudelle, mikäli niitä ei havaita ajoissa.

Projektissa kehitetään spektroskooppisia tekniikoita ja referenssikaasuja tärkeimpien hyvin pieninä pitoisuuksina esiintyvien kaasumaisten epäpuhtausmolekyylien nopeaan havainnointiin ja mittaukseen.

Prokjektin toimenpiteet:MetAMC II Micronova_clean_room_2_cut.jpg
TP1: Spektroskopia – Instrumentaatio 
TP2: Erittäin tarkkoja referenssimateriaaleja tukemaan tärkeimpien AMC-aineiden mittauksia
TP3: Projektin tuotosten demonstrointi teollisissa ympäristöissä

VTT MIKES kehittää hivenkaasualysaattorinhyvin pieninä pitoisuuksina esiintyvien HCl-, NH3- ja HF-molekyylien samanaikaiseen mittaukseen.

Lisätietoja: Timo Rajamäki, puh. +358 50 573 2823, timo.rajamaki(at)vtt.fi

Projektin kotisivu: http://empir.npl.co.uk/metamcii/