3DNano: Jäljitettävyys kolmiuloitteeseen nanometrologiaan

2016–2019          Jäljitettäviä kalibrointipalveluita kolmiuloitteeseen nanometrologiaan

Virpi.jpgTarve parantaa 3D-nanometrologian mittausten tarkkuutta on syntynyt
progressiivisesta miniatyrisoinnista edistyneessä nanovalmistuksessa.

Projektin tarkoituksena on vastata nanometrialueen nykyisiin ja tuleviin jäljitettävien 3D-mittausten vaatimuksiin pienentämällä mittausepävarmuus alle 1 nm:iin.

MIKES pienentää metrologisen atomivoimamikroskooppinsa kohinatason alle
0,1 nm:iin ja kehittää vertailumateriaaleja 3D-nanometrologian mittausten kalibroimiseksi.

Lisätietoja: Virpi Korpelainen, puh. +358 50 410 5504, virpi.korpelainen(at)vtt.fi

Projektin kotisivu: https://www.ptb.de/emrp/15sib09-home.html