Nanometrologia VTT MIKESissä


Nanometrologian palvelut ja osaaminen 

VTT MIKESissä on laaja osaaminen nanometrotason mittauksissa. Yhtenä merkittävimpänä etuna MIKESissä on mittausten luotettavuus. Annamme aina mittauksille realistisen epävarmuusarvion ja kalibrointipalvelut ovat kansainvälisesti hyväksyttyjä. Yleisesti ottaen nanometritasolla mittausten taso on kirjava ja mittaukset eivät aina ole kvantitatiivisia, vaikka niin luullaan.

Asiakkaan ongelman ratkaisu vaatii usein monipuolisempaa osaamista kuin yksittäisiä mittauksia. Ongelman ratkaisussa lähdetään aina liikkeelle kokonaisuudesta. Mikä on ongelma? Millä menetelmällä sitä voisi lähteä ratkaisemaan? Millaista tarkkuustasoa vaaditaan? MIKESissä meillä on mahdollista soveltaa laajaa valikoimaa erilaisia mittauksia nanometri- ja mikrometrialueella.

Asiakasprojektien koko vaihtelee yksittäisistä mittauspalveluista asiakasrahoitteisiin tutkimusprojekteihin ja isoihin yhteisrahoitteisiin tutkimusprojekteihin. Isompien tutkimusprojektien osalta autamme rahoitushakemusten tekemisessä (esim. Business Finland) tai voimme koota isomman konsortion ongelman ratkaisun ympärille (EU H2020).

 
VTT MIKESin palveluita nanometrologiassa
.

​Nanometrologian palvelut:​ ​Lähellä nanometrologiaa olevia palveluita:​
​AFM  (atomivoima-mikroskooppi) – Perus pinnanmuodon mittaus​
– Metrologinen AFM (MAFM)
   siirtonormaalien kalibrointiin ja
   erityistarkkuuden mittauksiin
– EFM (Electric Force Microscopy)
– Mittaukset nesteessä
​Valkoisen valon interferenssimikroskopia

– Pinnan muodonmittaus
– Pinnankarheus
– Kalvon paksuuden mittaus 
   (paksuus ~XX µm)

​Nanopartikkeli-mittaukset​– AFM
– DLS (Dynamic light scattering)
​​Stylusprofilometri​– Pinnan muoto
– Pinnankarheus
​Skatterometriset mittaukset​– Laserdiffraktiomittaukset hiloille​Tasomaisuusinterferometri
​SEM-mittaukset

  

Tutkimusprojekteja

VTT MIKES osallistuu aktiivisesti nanometrologian tutkimushankkeisiin. Tällä hetkellä on käynnissä tai juuri alkamassa kolme projektia. Lisäksi muutama hakemus odottaa rahoituspäätöstä.

Käynnissä olevia ja päättyneitä nanometrologiaan liittyviä tutkimusprojekteja.

Projektit 
käynnissä
Tavoitteet Päättyneet
projektit
Tavoitteet
​3DNano
(EMPIR)
​– Laajemman mittausalan
   AFM:n kehittäminen
– VTT MIKES koordinoi

​CRYSTAL
(EMRP)

​– DNA-nano-origami rakenteisiin perustuvien
   kalibrointinäytteiden kehittäminen yhdessä
   Aalto yliopiston kanssa
​NanoXSpot
(EMPIR)
​– Jäljitettävyyden tuominen
   röntgentietokonetomografian
   (XCT) mittausten mittauskohdan
   määrittämiseen
​MechProNo
(EMRP)
​– Kosteussäädettävä mittauskammio MAFM:lle
– Ilmankosteuden vaikutuksen tutkiminen AFM
   mittauksissa
– Nanorodien mekaanisten ominaisuuksien
   tutkiminen yhdessä Helsingin yliopiston kanssa
​METVES II
(EMPIR)
​– Jäljitettävyyden tuominen
   exrtacellular vesicles -mittauksiin
   (yhteistyössä EV-coren kanssa)
​MetNEMS
(EMRP)
​– Kalibrointimenetelmän kehittäminen
   Stroposcopic Scanning White Light Interference
   (SSWLI) mikroskoopille yhteistyössä Helsingin
   yliopiston kanssa
Scatterometry
(EMRP)
​– Scatterometry-mittausten kehittäminen
​Nanotrace
(iMERA-Plus)
​– Interferometrian jäljitettävyyden kehittäminen
   alle nanometrin mittakaavassa
​Nanoparticle
(iMERA-Plus)
​– Nanopartikkelimittausten jäljitettävyyden
   kehittäminen (AFM)
– Nanopartikkeleiden lukumäärätiheyden (SCAR)
   jäljitettävyyden kehittäminen yhdessä
   Tampereen teknisen yliopiston kanssa


Lisätietoja

  • Virpi Korpelainen, erikoistutkija, puh. 050 410 5504, sähköposti Virpi.Korpelainen(at)vtt.fi  

 

​<<< takaisin pituuskalibrointien etusivulle