Lyhyet mittapalat – tarkat mittaukset

VTT MIKES kalibroi ISO 3650 grade 00- ja 0-tason lyhyet mittapalat 0–100 (200) mm vaiheaskeltavalla mittapalainterferometrillä (PSIGB). Laitteen pohjana on NPL-TESA mittapalainterferometri 1990 luvulta, joka on päivitetty optiikan, mekaniikan ja elektroniikan osilta mahdollistamaan vaiheaskellus. Mittapalat imeytetään teräksiseen referenssialustaan ja stabiloitumisen jälkeen automaattinen mittausohjelma suorittaa mittauksen: se kerää 9 vaihekuvaa sekä 633 nm:n että 543 nm:n HeNe-laserin aallonpituuksilla ja analysoi mittapalojen keskimitan ja pinnan tasomaisuuden. Mittausten aikana mittapalojen lämpötila poikkeaa vähemmän kuin 50 mK lämpötilasta 20 °C. Päivitetty mittapalainterferometri on kuvattu artikkelissa [1]. Mittapalojen mittaukseen liittyvä vaihekorjaus tehdään joko ns. pinomenetelmällä tai käyttäen integroivaa palloa valon sironnan mittaamiseen. 

Lyhyiden mittapalojen kalibroinnin epävarmuus.  ​ 

MittausalueLaajennettu epävarmuus (k=2) ​Huom.
0,5...200 mm​U = Q[20; 0,3L] nm ​L on millimetreissä, Q[x; y]=√(x2+y2)
 

VTT MIKESin mittapalainterferometrin suorituskyky testataan säännöllisillä osallistumisilla kansainvälisiin EURAMETin tai CCL:n järjestämiin vertailumittauksiin. Viimeisin vertailumittaus on EURAMET.L-K1.2011 [2]. Vertailun tulokset tukivat VTT MIKESin PSIGB-mittapalainterferometrin ilmoitettua mittausepävarmuutta.

VTT MIKES tarjoaa myös muille NPL-TESA interferometrin käyttäjille mahdollisuutta päivittää laite vaihesteppaus menetelmään sekä Windows 10 -käyttöjärjestelmään. Kysy lisätietoja tutkimusryhmän vetäjältä Antti Lassilalta.
 

   TESA.jpg       2_wb.png

Vasemmalla lyhyiden mittapalojen interferometrinen mittauspaikka, oikealla kuva mittapalojen imeytyksestä vetokaapissa.
  

  1. V. Byman, A. Lassila, MIKES’ primary phase stepping gauge block interferometer, Meas. Sci. Technol. 26, 084009 (2015)https://doi.org/10.1088/0957-0233/26/8/084009  
  2. M. Matus et. al, Measurement of gauge blocks by interferometry, Metrologia 53, 04003 (2016).      https://doi.org/10.1088/0026-1394/53/1A/04003
     

Lisätietoja

  • Pasi Laukkanen, tutkimusinsinööri, puh. 050 382 9674, sähköposti pasi.laukkanen(at)vtt.fi
  • Antti Lassila, tutkimusryhmän vetäjä, puh. 040 767 8584, sähköposti antti.lassila(at)vtt.fi
     

​<<< takaisin pituuskalibrointien etusivulle