Nano- ja mikrometrologia

Nano ja mikrometrologia​Luotettavilla nano- ja mikrometrialueen dimensiomittauksilla on entistä tärkeämpi merkitys teollisuudessa, erityisesti puolijohdeteollisuudessa, jossa jatkuvana tavoitteena on komponenttien pienentäminen. Monilla teollisuuden aloilla käytetään lisäksi yhä enenemässä määrin nanopartikkeita parantamaan tuotteiden ominaisuuksia, esim. maalien, voiteiden, suojavaatteiden, jne. Jotta mittaukset olisivat luotettavia ja vertailukelpoisia, ne pitää tehdä jäljitettävästi. MIKESissä on kehitetty interferometrisesti jäljitettävä atomivoimamikroskooppi (AFM) nanometrialueen mittauksia ja kalibrointeja varten.
MIKESissä kehitetään menetelmiä ja laitteita nanopartikkelien ominaisuuksien sekä yhä pienempien dimensioiden (< nm) entistä tarkempaan jäljitettävään mittaukseen.

Alueen tutkimusprojekteja

  • Jäljitettävät mittaukset nanometriä pienemmille dimensioille
  • Nano-objektien mekaanisten ominaisuuksien jäljitettävät mittaukset
  • Nanopartikkelien karakterisointi